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・半導体ウエハ洗浄装置（３００mmウエハ／１又は２キャリア搬送）から洗浄情報を収集し、HSMS通信 （高速SECSメッセージ汎用サービス）を用い、PC端末から上位のホストPCに通信シナリオ及び通信 メッセージに基づく通信を行います。 ・ホスト端末によりレシピ情報を作成し、洗浄装置に対し送信します。 |
| 画面イメージ | ||
 メイン画面 （LD部、洗浄部、ULD部、キャリア情報、トレンド情報表示） |
 洗浄履歴表示画面 （ウエハID時系列、キャリア詳細表示：温度、濃度、液交換時間） |
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 アラーム履歴画面 （アラーム発生時、投入済キャリアIDを赤色で表示） |
 運転時間画面、液交換画面 |
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